센서｜기초편

박막 피에조 MEMS

  • 피에조 (Piezo)
    피에조 (압전 소자)는 힘을 가함으로써 전압을 발생시키거나, 전압을 가함으로써 변형시키는 디바이스입니다.
  • 피에조 관련 용어
    피에조 관련 용어에 대한 간단한 설명입니다.
  • MEMS (멤스)
    미세 가공 기술을 통해 기계 요소 부품, 전자 회로, 센서, 액추에이터를 하나의 기판에 집적한 고부가가치 디바이스입니다.
  • MEMS 관련 용어
    MEMS 관련 용어에 대한 간단한 설명입니다.